기술 정보 & 현장 이야기
진공펌프 수리 경력 30년의 전담 엔지니어와 현장 경험을 바탕으로, 수리·납기·기술 정보를 정직하게 정리합니다.
진공 시스템 성능을 배기속도 기준으로 판단하는 법: 루츠 부스터 조합 선택 가이드
진공펌프에 루츠 부스터를 조합해야 할지 고민 중이신가요? 압력 구간·처리량 기준으로 EH250~EH4200 모델 선택법을 정리했습니다. Edwards 공식 대리점 스마텍이 현장 맞춤 구성을 도와드립니다.
진공게이지 선택 가이드 — 피라니·이온·컨벡션 방식 비교
피라니·이온·컨벡션·커패시턴스 마노미터 등 진공게이지 4종의 측정 원리, 적용 압력 범위를 상세히 비교합니다. 중저진공부터 초고진공까지 공정 조건, 사용 가스 종류, 정확도 요구 수준에 따라 올바른 게이지를 선택하는 핵심 기준을 현장 실무 중심으로 명확하게 정리했습니다.
가스 발라스트(Gas Ballast) 사용 시점과 원리 — 오일 로터리 베인 펌프 완전 가이드
오일 로터리 베인 펌프의 가스 발라스트, 언제 열고 언제 닫아야 할까요? 수분·증기 공정 시작 전과 워밍업 단계에는 열고, 시스템 압력이 1~2 Torr 이하로 내려가면 닫아야 합니다. 에드워드 포지션 0·I·II 기준과 N2 어댑터 주의사항을 스마텍이 정리해 드립니다.
ELD500W 리크디텍터, 어떤 상황에서 꼭 필요할까요?
Edwards ELD500W 헬륨 리크디텍터 — 진공 누설 원인을 수치로 찾아내는 장비. 반도체·디스플레이·연구소 챔버 PM 후 밀봉 확인, 원인 불명 진공도 저하 진단에 활용. 스마텍 공급·기술지원. 031-204-7170
스퍼터 공정용 에드워드 드라이진공펌프 핵심 특성 3가지
스퍼터링 공정 드라이진공펌프 핵심 특성 3가지. Edwards GXS.iXH.iXM 무오일 설계, 고속 펌핑, 내부식성 분석. 스마텍 031-204-7170
드라이 펌프에서 'DP TEMP HIGH' 알람이 떴다면? 현장 기술자가 알려주는 원인 2가지
iXH 드라이펌프에서 DP TEMP HIGH 알람이 뜨는 두 가지 원인(부식성 가스 유입, PVC 워터라인 막힘)과 현장 5분 점검법, 수리·교체 판단 기준을 실제 수리 사례로 정리했습니다.
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