
Edwards RV3 + EMF10
GC-MS 실험대의 누유 펌프를 RV3와 오일 미스트필터 EMF10으로 함께 교체 납품했습니다.
스마텍이 공급·설치한 Edwards 진공펌프의 실제 현장 사진입니다. 고객 설비는 알아볼 수 없게 흐리게 처리했습니다.

GC-MS 실험대의 누유 펌프를 RV3와 오일 미스트필터 EMF10으로 함께 교체 납품했습니다.

진공 오븐 배기 용량이 부족해 기존 RV12를 E2M18로 교체했습니다. 오일 2병과 함께 출고.

정밀 표면분석 장비용 터보 펌핑 스테이션을 정품 포장 그대로 출고했습니다.

동결건조 설비에 연결된 2단 오일 로터리 펌프입니다.

드라이 스크류 펌프 EXS450에 루츠 부스터 EH2600을 조합한 배기 시스템입니다.

SEM 분석 장비 배기용 오일 로터리 펌프 RV8과 드라이 스크롤 펌프 nXDS10i입니다.

제조 라인 배기 배관 아래 설치된 드라이펌프 3대입니다.

액화질소 이중배관(진공 단열 배관) 재배기 현장에 구성한 터보 펌핑 시스템입니다.

터보분자펌프·배기펌프·컨트롤러가 한 받침대에 결합된 일체형 스테이션입니다.

진공 챔버 장비에 드라이 스크롤 펌프를 설치하고 현장에서 진공도를 시험했습니다.

GXS 드라이 스크류 펌프 배기구에 소음기를 직결해 배기 맥동음을 줄였습니다.

드라이 스크롤 펌프 nXDS6i로 터보분자펌프를 백킹하는 배기 구성입니다.

대용량 2단 오일 로터리 펌프 E2M275 2대가 나란히 설치된 현장입니다.

반도체 라인 챔버 하단에 설치된 다단 드라이펌프 2대입니다.

진공 열처리로 배기용 드라이 스크류 펌프 시스템입니다. 상부에 기계식 부스터가 결합돼 있습니다.

클린룸 진공 설비의 누설 위치를 찾는 헬륨 리크디텍터입니다.

진공 오븐 배기에 연결한 오일 로터리 펌프 RV12입니다.

현장에서 Edwards 게이지로 RV8의 진공도를 확인하는 모습입니다.

GC 질량분석 장비 배기 라인에 연결된 오일 로터리 펌프입니다.