ATM · 10³ mbar
UHV · 10⁻¹⁰ mbar
Smartech.
DELIVERY CASES

납품 사례

스마텍이 공급·설치한 Edwards 진공펌프의 실제 현장 사진입니다. 고객 설비는 알아볼 수 없게 흐리게 처리했습니다.

19건 공개 — 순차 업데이트 중
Edwards T-Station 85D — 정밀 표면분석 장비 납품 현장

Edwards T-Station 85D

H사 · 정밀 표면분석 장비
DELIVERY
2026.06

정밀 표면분석 장비용 터보 펌핑 스테이션을 정품 포장 그대로 출고했습니다.

Edwards T-Station 85W — 액화질소 이중배관 납품 현장

Edwards T-Station 85W

액화질소 이중배관
DELIVERY
2025.03

액화질소 이중배관(진공 단열 배관) 재배기 현장에 구성한 터보 펌핑 시스템입니다.

Edwards T-Station 300 — 터보 펌핑 스테이션 납품 현장

Edwards T-Station 300

터보 펌핑 스테이션
DELIVERY
2024.11

터보분자펌프·배기펌프·컨트롤러가 한 받침대에 결합된 일체형 스테이션입니다.

Edwards nXDS10i — 진공 챔버 장비 납품 현장

Edwards nXDS10i

진공 챔버 장비
DELIVERY
2024.09

진공 챔버 장비에 드라이 스크롤 펌프를 설치하고 현장에서 진공도를 시험했습니다.

Edwards GXS + 배기 소음기 — 산업 현장 납품 현장

Edwards GXS + 배기 소음기

산업 현장
DELIVERY
2023.06

GXS 드라이 스크류 펌프 배기구에 소음기를 직결해 배기 맥동음을 줄였습니다.

Edwards iXH — 반도체 라인 납품 현장

Edwards iXH

반도체 라인
DELIVERY
현장

반도체 라인 챔버 하단에 설치된 다단 드라이펌프 2대입니다.

Edwards GXS (부스터 일체형) — 진공 열처리로 납품 현장

Edwards GXS (부스터 일체형)

진공 열처리로
DELIVERY
현장

진공 열처리로 배기용 드라이 스크류 펌프 시스템입니다. 상부에 기계식 부스터가 결합돼 있습니다.

Edwards ELD500W — 클린룸 진공 설비 납품 현장

Edwards ELD500W

클린룸 진공 설비
DELIVERY
현장

클린룸 진공 설비의 누설 위치를 찾는 헬륨 리크디텍터입니다.

Edwards 오일 로터리 펌프 — 분석 장비(GC) 납품 현장

Edwards 오일 로터리 펌프

분석 장비(GC)
DELIVERY
현장

GC 질량분석 장비 배기 라인에 연결된 오일 로터리 펌프입니다.

새로 납품할 때마다 현장 사진을 추가합니다.수리·오버홀 사례는 수리 사례에서 볼 수 있습니다.
☏ 031-204-7170 구매·설치 문의