ATM · 10³ mbar
UHV · 10⁻¹⁰ mbar
Smartech.
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부스터펌프(EH)

Edwards EH2600

사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)

배기속도 (60 Hz)3,110 m³/h
모터 출력11.0 kW
냉각 방식수냉
무게401 kg
인렛 플랜지ISO160
외형 치수 (L×W×H)1156×522×479 mm

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