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부스터펌프(EH)
Edwards EH4200
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (60 Hz) | 4,985 m³/h |
| 모터 출력 | 11.0 kW |
| 냉각 방식 | 수냉 |
| 무게 | 481 kg |
| 인렛 플랜지 | ISO250 |
| 외형 치수 (L×W×H) | 1336×522×479 mm |