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오일펌프(중대형 E2M)
Edwards E2M80
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (60 Hz) | 90 m³/h |
| 도달압력 (Total) | 3.0×10⁻³ mbar |
| 모터 출력 (60 Hz) | 3.0 kW |
| 소음 | 65 dB(A) |
| 무게 | 104 kg |
| 오일 용량 | 4~6.3 L |
| 인렛 플랜지 | NW40 |
| 배기 플랜지 | NW25 |
| 외형 치수 (L×W×H) | 889×266×429 mm |