← 제품 목록
반도체드라이펌프(iXL)
Edwards iXL500Q
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (드라이 펌프) | 500 m³/h |
| 도달압력 | <5×10⁻³ mbar |
| 소비전력 (도달압력 시) | 7.0 kW |
| 인렛 플랜지 | ISO160 |
| 배기 플랜지 | NW50 |
| 무게 | 740 kg |
| 외형 치수 (L×W×H) | 1186×517×966 mm |