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반도체드라이펌프(iXL)
Edwards iXL250Q
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (드라이 펌프) | 250 m³/h |
| 도달압력 | <5×10⁻³ mbar |
| 소비전력 (도달압력 시) | 5.3 kW |
| 인렛 플랜지 | ISO160 |
| 배기 플랜지 | NW40 |
| 무게 | 515 kg |
| 외형 치수 (L×W×H) | 1092×390×830 mm |