ATM · 10³ mbar
UHV · 10⁻¹⁰ mbar
Smartech.
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반도체드라이펌프(iXL)

Edwards iXL750Q

사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)

배기속도 (드라이 펌프)750 m³/h
도달압력<5×10⁻³ mbar
소비전력 (도달압력 시)9.8 kW
인렛 플랜지ISO160
배기 플랜지NW50
무게918 kg
외형 치수 (L×W×H)1622×517×1031 mm

판매 옵션 (전압·주파수·지역별)

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