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오일펌프(소형 E2M)
Edwards E2M0.7
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (60 Hz) | 0.85 m³/h |
| 도달압력 (Total) | 3×10⁻³ mbar |
| 모터 출력 (60 Hz) | 90 W |
| 회전수 (60 Hz) | 1,700 rpm |
| 소음 | 43 dB(A) |
| 무게 | 10 kg |
| 오일 용량 | 0.2~0.28 L |
| 인렛 플랜지 | NW10 |
| 작동 온도 | 12~40 °C |