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스크롤펌프(소형 nXDS)
Edwards nXDS15i
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (Peak) | 17.1 m³/h |
| 도달압력 | 7.0×10⁻³ mbar |
| 모터 출력 | 300 W |
| 회전수 | 1,800 rpm |
| 소음 | <52 dB(A) |
| 무게 | 25.2 kg |
| 인렛 플랜지 | NW25 |
| 배기 플랜지 | NW25 |
| 작동 온도 | 10~40 °C |
| 외형 치수 (L×W×H) | 432×282×302 mm |