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반도체드라이펌프(nXRi)
Edwards nXR60i
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 배기속도 (Peak) | 60 m³/h |
| 도달압력 | 0.03 mbar |
| 소음 | 55 dB(A) |
| 무게 | 29 kg |
| 인렛 플랜지 | NW40 |
| 배기 플랜지 | NW25 |
| 작동 온도 | 5~40 °C |
반도체드라이펌프(nXRi)
| 배기속도 (Peak) | 60 m³/h |
| 도달압력 | 0.03 mbar |
| 소음 | 55 dB(A) |
| 무게 | 29 kg |
| 인렛 플랜지 | NW40 |
| 배기 플랜지 | NW25 |
| 작동 온도 | 5~40 °C |