ATM · 10³ mbar
UHV · 10⁻¹⁰ mbar
Smartech.
Smartech · Blog

기술 정보 & 현장 이야기

진공펌프 수리 경력 30년의 전담 엔지니어와 현장 경험을 바탕으로, 수리·납기·기술 정보를 정직하게 정리합니다.

기술문의

진공게이지 선택 가이드 — 피라니·이온·컨벡션 방식 비교

피라니·이온·컨벡션·커패시턴스 마노미터 등 진공게이지 4종의 측정 원리, 적용 압력 범위를 상세히 비교합니다. 중저진공부터 초고진공까지 공정 조건, 사용 가스 종류, 정확도 요구 수준에 따라 올바른 게이지를 선택하는 핵심 기준을 현장 실무 중심으로 명확하게 정리했습니다.

2026.06.04읽기 →
기술문의

가스 발라스트(Gas Ballast) 사용 시점과 원리 — 오일 로터리 베인 펌프 완전 가이드

오일 로터리 베인 펌프의 가스 발라스트, 언제 열고 언제 닫아야 할까요? 수분·증기 공정 시작 전과 워밍업 단계에는 열고, 시스템 압력이 1~2 Torr 이하로 내려가면 닫아야 합니다. 에드워드 포지션 0·I·II 기준과 N2 어댑터 주의사항을 스마텍이 정리해 드립니다.

2026.06.03읽기 →
기술문의

ELD500W 리크디텍터, 어떤 상황에서 꼭 필요할까요?

Edwards ELD500W 헬륨 리크디텍터 — 진공 누설 원인을 수치로 찾아내는 장비. 반도체·디스플레이·연구소 챔버 PM 후 밀봉 확인, 원인 불명 진공도 저하 진단에 활용. 스마텍 공급·기술지원. 031-204-7170

2026.06.01읽기 →
기술문의

스퍼터 공정용 에드워드 드라이진공펌프 핵심 특성 3가지

스퍼터링 공정 드라이진공펌프 핵심 특성 3가지. Edwards GXS.iXH.iXM 무오일 설계, 고속 펌핑, 내부식성 분석. 스마텍 031-204-7170

2026.05.31읽기 →
기술문의

드라이 펌프에서 'DP TEMP HIGH' 알람이 떴다면? 현장 기술자가 알려주는 원인 2가지

iH / iXH 드라이 펌프에서 DP TEMP HIGH 알람이 뜨셨나요?

2026.05.25읽기 →
← 이전123다음 →

23편 중 1923

문의

진공펌프 관련 문의 사항이 있으시면 언제든지 스마텍으로 연락 부탁드립니다.