기술 정보 & 현장 이야기
진공펌프 수리 경력 30년의 전담 엔지니어와 현장 경험을 바탕으로, 수리·납기·기술 정보를 정직하게 정리합니다.
태양광 태양전지 제조 공정 드라이펌프 선택 기준 — 대면적 배기부터 청정도까지
태양전지 증착 공정용 드라이펌프 선택 시 확인할 대면적 배기속도, 오일 오염 없는 청정도, 도핑·에칭 분진 대응, 부스터 조합 기준을 정리했습니다
반도체 에칭·CMP 공정 드라이펌프 선택 기준 — 부식성 가스부터 구조 선정까지
반도체 에칭·CMP 공정용 드라이펌프 선택 시 확인할 부식성 가스 대응, 다단(iXH)·스크롤(nXDS) 구조 비교, 가스발라스트·배기 라인 히팅 운전 옵션을 정리했습니다
액화질소 이중배관 단열, 드라이펌프 선택 기준 정리
액화질소·극저온 이중배관(VIP) 진공 단열의 게터 오염 문제와 드라이펌프를 쓰는 이유, nXDS·XDS·GXS/EXS+EH 규모별 선택 기준, 헬륨 리크 테스트까지 정리했습니다
초고진공 이온게이지, 초전도 자석 환경에서 냉음극 방식을 쓸 때 확인할 것
초전도 자석·극저온 챔버 환경에서 냉음극 이온게이지가 자기장 간섭으로 판독값이 흔들리는 원인과 설치 위치·차폐·축 정렬 기준, AIM200·WRG200·APG200 선택 기준을 정리했습니다
동결건조 진공펌프 오일 선택 기준 — 미네랄오일과 식품등급오일 구분법
동결건조 라인 오일로터리펌프는 평소 Ultragrade 19·70·20 미네랄오일을 씁니다. 원료가 배기 라인과 접촉할 위험이 있다면 식품등급오일(H1)로 교체를 검토해야 합니다. RV·E2M·EH 모델별 권장오일을 스마텍이 정리했습니다. 지금 쓰는 오일 등급, 확인해 보세요
특수 가스 충전 설비 진공펌프 — 드라이 스크류가 필요한 3가지 조건
특수 가스 충전 설비에서 오일로터리펌프의 한계와 드라이 스크류 펌프가 필요한 3가지 조건을 정리했습니다. 고순도 5N급 가스, 부식성 가스, 가연성 가스 기준으로 선택 방법을 설명합니다
OLED·LCD 제조에서 드라이펌프로 전환하는 이유 — 오일로터리펌프의 한계
디스플레이 증착·스퍼터링 공정에서 오일로터리펌프의 backstreaming(역류) 문제와 오일 트랩의 한계를 정리하고, 드라이 스크류 펌프로 전환할 때 판단 기준을 안내합니다
진공펌프 배기 소음 줄이는 방법 — 머플러·소음기 선택 기준
진공펌프 설치 후 배기 소음이 심할 때, 머플러(소음기) 선택과 배관 연결 방법을 정리했습니다. 배기구 사이즈·재질·소음 감쇠량 3가지 기준과 GXS·nXR 계열 적용 기준 포함
RV 오일로터리펌프 수리비용 — 기본 54만 원과 추가 비용이 생기는 3가지 경우
Edwards RV3·RV5·RV8·RV12 기본 수리비 540,000원(부가세 별도, 택배 입고·발송 기준)과 포함 부품, Blade·Shaft sleeve kit 별도 금액, 추가 비용이 생기는 경우를 정리했습니다.
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