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— INDUSTRY · FUSION-ACCELERATOR
핵융합 / 가속기
ITER·토카막 등 핵융합 플라즈마 장치와 입자 가속기용 UHV 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
핵융합 플라즈마와 고에너지 가속기는 입자 산란을 막기 위해 초고진공(UHV) 환경을 요구합니다. Edwards는 대형 토카막, KSTAR·ITER급 R&D 장비, 빔라인 가속기에 적용 가능한 터보·크라이오·이온 펌프 조합을 제공합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
토카막 진공 챔버 베이킹 및 UHV 달성
02
빔라인·타겟 챔버의 초고진공 유지
03
플라즈마 배기 및 삼중수소 취급 시스템
04
가속기 링 UHV 구간 배기
05
대형 챔버 헬륨 리크 진단
— 03 · RECOMMENDED MODELS
이 산업에 맞는 Edwards 조합
— 04 · FIELD DATA
실제 시뮬레이션으로 확인된 것
Edwards 공식 시뮬레이션 데이터를 기반으로 한 실전 기술 인사이트입니다. 회사명·수치는 보안상 범위·일반화 처리했습니다.
01
초전도체 케이블 제조는 오일 오염 리스크가 배기속도보다 우선입니다
핵융합로·가속기용 초전도 마그넷에 쓰이는 초전도체 케이블은 IBAD(Ion Beam Assisted Deposition) 같은 박막 증착 공정으로 만들어지는데, 롤투롤 다중챔버 라인에서 오일 로터리베인+루츠부스터 조합과 드라이 스크류 콤비 펌프를 비교한 결과 오일 역류(backstream)가 증착 품질에 영향을 줄 수 있어 드라이 방식이 권장됩니다.
— 05 · FAQ
자주 묻는 질문
01
핵융합·가속기 설비는 왜 오일프리가 필수인가요?
진공 챔버가 오염에 매우 민감하기 때문입니다. 오일이 챔버로 역류하면 탄화수소가 표면에 흡착돼 초고진공 도달을 방해하고 빔라인 광학계·검출기를 오염시킵니다. 허밀틱 벨로우즈 실링 구조의 드라이 스크롤 펌프가 베어링 윤활유를 진공 공간과 완전히 격리해 이 문제를 막습니다.
02
방사선이 강한 구역에서는 펌프 선택이 달라지나요?
네. 드라이 러닝 백킹펌프의 실링재로 쓰이는 테프론(불소수지) 계열 소재가 방사선에 취약해질 수 있어, 실링재가 필요 없는 다단 루츠 방식을 택하는 사례도 있습니다.
03
소형·대형 터보분자펌프의 백킹펌프는 각각 무엇을 쓰나요?
빔라인 개별 포트나 실험 챔버에 다는 소형 TMP(55~400 l/s급)에는 nXDS 계열이 공식 권장 백킹펌프입니다. CF160급 이상 대형 TMP(730 l/s급 이상)로 가면 XDS35i·XDS46i급으로 백킹펌프 규모도 커집니다.
04
초전도체 케이블 제조 라인에도 드라이 방식이 필요한가요?
네. 초전도 마그넷용 케이블은 IBAD 등 박막 증착 공정으로 만들어지는데, 롤투롤 다중챔버 라인에서 오일 로터리베인+루츠부스터 조합과 드라이 스크류 콤비 펌프를 비교한 결과 오일 역류가 증착 품질에 영향을 줄 수 있어 드라이 방식이 권장됩니다.
05
대형 챔버 자체 배기는 어떤 펌프가 담당하나요?
산업용 드라이 펌프(GXS 계열)가 대형 챔버의 러프 진공을 담당하고, 이후 터보분자펌프가 UHV 영역까지 끌어올립니다.
06
대형 과학장비 진공 시스템 상담이 가능한가요?
가능합니다. TMP 배기속도와 챔버 규모, 방사선 환경 여부를 알려주시면 031-204-7170에서 적합한 백킹펌프 구성을 안내해 드립니다.