← 20 INDUSTRIES12 / 20 · 에너지에너지
— INDUSTRY · SOLAR
태양광 에너지
실리콘 잉곳 성장·웨이퍼링·박막 PV 셀 제조를 위한 진공 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
태양전지는 결정질 실리콘 잉곳 성장과 박막(Thin-film) 증착 모두 진공 공정에 의존합니다. Edwards는 CZ·DSS 잉곳 그로어, PECVD, 스퍼터링, 확산로까지 PV 라인 전 공정에 내구성 높은 건식 펌프를 공급합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
CZ·DSS 실리콘 잉곳 성장로 배기
02
PECVD 반사방지·패시베이션 박막 증착
03
박막 태양전지 스퍼터링(CIGS·CdTe)
04
확산·어닐링 퍼니스 진공 퍼지
05
셀 라미네이션 및 모듈 봉지
— 03 · RECOMMENDED MODELS
이 산업에 맞는 Edwards 조합
— 05 · FAQ
자주 묻는 질문
01
태양전지 증착 라인에는 왜 드라이 펌프가 우선 검토되나요?
도핑·확산, 에칭, PECVD, PVD 공정에서 오일식 펌프를 쓰면 오일 증기가 챔버로 역류해 카본 성분이 박막에 섞여 들어갈 위험이 있습니다. 처음부터 청정 진공을 만들 수 있는 드라이 스크류 펌프가 우선 검토되는 이유입니다.
02
반도체 웨이퍼 공정 사양을 그대로 가져와도 되나요?
권장하지 않습니다. 태양전지는 대형 유리기판·롤투롤 라인처럼 반도체 웨이퍼보다 훨씬 넓은 면적을 한 번에 배기해야 해서, 같은 진공도라도 필요한 배기속도가 크게 늘어납니다. 목표 진공도뿐 아니라 기판 면적당 필요 배기속도를 함께 계산해야 합니다.
03
도핑·에칭 공정에서 분진 문제는 어떻게 대응하나요?
스크류 방식 드라이펌프는 부식성 가스와 분진이 함께 발생하는 환경에서 상대적으로 안정적으로 작동합니다. 내식 코팅·재질이 적용되지 않으면 배기 라인에 퇴적물이 쌓여 유량이 서서히 떨어지므로 정기 퍼지와 배기 라인 관리가 필요합니다.
04
증착 공정의 요구 진공도는 어느 정도인가요?
통상 10⁻³~10⁻⁵ mbar 범위입니다. 공정(PECVD/PVD)과 박막 종류에 따라 세부 목표치가 달라집니다.
05
실리콘 잉곳 성장로에도 같은 펌프를 쓰나요?
CZ·DSS 잉곳 그로어는 증착 공정과 요구 조건이 다르므로, 챔버 체적과 공정 온도·압력 조건을 확인한 후 GXS·EH 조합 중 적합한 구성을 선정합니다.
06
태양광 생산라인 진공펌프 사양 상담이 가능한가요?
가능합니다. 기판 면적, 목표 진공도, 현재 배기 시간을 알려주시면 031-204-7170에서 대면적 배기에 맞는 펌프 구성을 안내해 드립니다.