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— INDUSTRY · SOLAR
태양광 에너지
실리콘 잉곳 성장·웨이퍼링·박막 PV 셀 제조를 위한 진공 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
태양전지는 결정질 실리콘 잉곳 성장과 박막(Thin-film) 증착 모두 진공 공정에 의존합니다. Edwards는 CZ·DSS 잉곳 그로어, PECVD, 스퍼터링, 확산로까지 PV 라인 전 공정에 내구성 높은 건식 펌프를 공급합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
CZ·DSS 실리콘 잉곳 성장로 배기
02
PECVD 반사방지·패시베이션 박막 증착
03
박막 태양전지 스퍼터링(CIGS·CdTe)
04
확산·어닐링 퍼니스 진공 퍼지
05
셀 라미네이션 및 모듈 봉지
— 03 · RECOMMENDED MODELS
