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· 10³ mbar
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UHV
· 10⁻¹⁰ mbar
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반도체드라이펌프(iXH)
Edwards iXH1820
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
최대 배기속도
1,820 m³/h
도달압력
5×10⁻³ mbar
소비전력 (도달압력 시)
3.9 kW
인렛 플랜지
ISO160
배기 플랜지
NW40
무게
487 kg
외형 치수 (L×W×H)
901×390×780 mm
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