ATM · 10³ mbar
UHV · 10⁻¹⁰ mbar
Smartech.
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반도체드라이펌프(iXH)

Edwards iXH100

사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)

최대 배기속도100 m³/h
도달압력2×10⁻² mbar
소비전력 (도달압력 시)2.1 kW
인렛 플랜지ISO63
배기 플랜지NW40
무게260 kg
외형 치수 (L×W×H)784×390×526 mm

판매 옵션 (전압·주파수·지역별)

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