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반도체드라이펌프(iXH)
Edwards iXH3030
사양 (Edwards 공식 카탈로그 기준)
| 최대 배기속도 | 2,900 m³/h |
| 도달압력 | 5×10⁻³ mbar |
| 소비전력 (도달압력 시) | 5.7 kW |
| 인렛 플랜지 | ISO160 |
| 배기 플랜지 | NW40 |
| 무게 | 619 kg |
| 외형 치수 (L×W×H) | 915×517×966 mm |