연구 및 분석

SEM/TEM, 질량분석 등 분석 장비와 R&D 실험실을 위한 고청정 진공 솔루션.

— 01 · OVERVIEW

왜 이 산업에 진공이 필요한가

전자현미경(SEM·TEM), 질량분석기, 표면분석 장비는 분자 수준의 측정을 위해 오일프리 고진공 환경을 요구합니다. Edwards의 스크롤·터보·이온 펌프 조합은 깨끗한 샘플 챔버와 안정적인 배경 진공을 제공하여 분석 재현성과 감도를 극대화합니다.

— 02 · VACUUM PROCESSES

SEM/TEM 컬럼 및 시료 챔버 고진공 유지

질량분석기(MS) 로딩락 및 이온 소스 배기

표면분석(XPS·AES) 초고진공(UHV) 달성

분석용 로드락 및 샘플 트랜스퍼 배기

진공 게이지 및 RGA를 통한 압력·가스종 모니터링

— 03 · RECOMMENDED MODELS