가스 실린더

C4F6(헥사플루오로부타디엔) 같은 부식성·폭발성 가스를 다루는 실린더 잔류가스 회수 공정에서, N2 퍼지 옵션이 있는 오일프리 스크롤 펌프로도 목표 스펙(20분 이내 5×10⁻² torr)을 충분히 만족했습니다. 퍼지를 걸어도 도달시간에 큰 차이가 없어, 오일 방식 대비 부식·오염 위험을 줄이면서 성능 저하 없이 대체할 수 있습니다.

다중 실린더 매니폴드(버퍼탱크)를 순도 확보 목적으로 배기할 때는 목표 진공도가 5×10⁻⁵ torr급으로, 단순 잔류가스 회수(5×10⁻² torr급)보다 3자릿수 이상 깊습니다. 이 경우 터보분자펌프+백킹펌프 조합이 필요하며, 도달까지 약 2시간이 소요될 수 있습니다.

시뮬레이션은 시간에 따른 압력 변화만 계산할 뿐, 고객이 요구하는 잔류 수분 농도나 잔류가스 조성 자체는 예측 불가능합니다(Edwards 자료 자체 명시). 순도 스펙이 중요한 고객에게는 이 점을 먼저 안내해야 합니다.