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— INDUSTRY · GAS-CYLINDER
가스 실린더
가스 실린더 퍼지·충전 및 가스 분배 라인의 진공 전처리 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
고순도 특수가스 실린더는 재충전 전 잔류 기체와 수분을 완벽히 제거해야 오염 및 역반응을 방지할 수 있습니다. Edwards 건식 진공펌프는 내식성과 높은 배기량으로 실린더 내부 및 가스 분배 매니폴드의 반복 퍼지·리크 테스트를 안정적으로 수행합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
가스 실린더 재충전 전 진공 퍼지
02
가스 분배 매니폴드 배기 및 건조
03
부식성 가스용 실린더의 잔류물 제거
04
헬륨 리크 디텍터를 활용한 기밀 시험
05
UHP 가스 라인의 초기 진공 드로우다운
— 03 · RECOMMENDED MODELS
