진공로

소결·MIM 탈지·가스 퀜칭은 10⁻²~10⁻³ mbar대, 저압 침탄·플라즈마 질화는 1~30 mbar대로 요구 진공도 자체가 다릅니다. 같은 진공로라도 어떤 공정에 쓰느냐에 따라 펌프 구성을 다르게 설계해야 합니다.

6만 리터급 대형 챔버에서 같은 부스터 구성 기준으로 비교했을 때, 드라이 스크류+루츠부스터 조합이 오일씰 로터리피스톤+루츠부스터 조합보다 도달 시간이 더 짧았습니다. 고진공 부스터를 추가하면 두 방식 모두 유의미하게 단축되지만, 방식 자체의 차이도 무시할 수 없습니다.

"배기속도 2~8배" 같은 일반 공식을 그대로 적용하면 실제 현장에서 검증된 조합과 다른 모델을 추천하게 됩니다(예: GXS250은 EH500이 아니라 실제로 EH2600과 조합). 스마텍 현장 확인 기준표를 우선으로 삼아야 합니다.