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— INDUSTRY · VACUUM-FURNACE
진공로
금속 열처리·소결·브레이징을 위한 진공로 배기 시스템.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
진공로에서는 산화·탈탄 없이 금속의 조직과 기계적 물성을 제어합니다. Edwards의 건식 펌프와 루츠 부스터 조합은 빠른 배기, 높은 펌핑 스피드, 장시간 안정 운전을 제공해 소결·담금질·브레이징 공정의 품질을 높입니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
진공 담금질·템퍼링 열처리
02
분말야금·초경 소결
03
진공 브레이징 및 확산 접합
04
탈가스(가스 퀜칭 전 수분·산소 제거)
05
공정 중 진공도 연속 모니터링
— 03 · RECOMMENDED MODELS
이 산업에 맞는 Edwards 조합
— 04 · FIELD DATA
실제 시뮬레이션으로 확인된 것
Edwards 공식 시뮬레이션 데이터를 기반으로 한 실전 기술 인사이트입니다. 회사명·수치는 보안상 범위·일반화 처리했습니다.
01
소결·MIM 탈지·브레이징은 공정별 목표 진공도가 크게 다릅니다
소결·MIM 탈지·가스 퀜칭은 10⁻²~10⁻³ mbar대, 저압 침탄·플라즈마 질화는 1~30 mbar대로 요구 진공도 자체가 다릅니다. 같은 진공로라도 어떤 공정에 쓰느냐에 따라 펌프 구성을 다르게 설계해야 합니다.
02
대용량 챔버는 드라이 방식이 오일씰 방식보다 도달 시간이 짧습니다
6만 리터급 대형 챔버에서 같은 부스터 구성 기준으로 비교했을 때, 드라이 스크류+루츠부스터 조합이 오일씰 로터리피스톤+루츠부스터 조합보다 도달 시간이 더 짧았습니다. 고진공 부스터를 추가하면 두 방식 모두 유의미하게 단축되지만, 방식 자체의 차이도 무시할 수 없습니다.
03
루츠 부스터 조합은 배기속도 비율로 기계적으로 정하면 안 됩니다
"배기속도 2~8배" 같은 일반 공식을 그대로 적용하면 실제 현장에서 검증된 조합과 다른 모델을 추천하게 됩니다(예: GXS250은 EH500이 아니라 실제로 EH2600과 조합). 스마텍 현장 확인 기준표를 우선으로 삼아야 합니다.
— 05 · FAQ
자주 묻는 질문
01
진공로 공정마다 요구되는 진공도가 다른가요?
네, 공정별로 크게 다릅니다. 소결·MIM 탈지·가스 퀀칭은 10⁻² mbar 내외, 진공 브레이징·어닐링은 10⁻²~10⁻³ mbar, 저압 침탄은 10~30 mbar, 전자빔 용접은 10⁻³~10⁻⁴ mbar가 필요합니다. 같은 진공로라도 공정에 따라 펌프 구성을 다르게 설계해야 합니다.
02
오일 로터리펌프 대신 드라이 스크류 펌프를 써야 하는 이유는 무엇인가요?
오일 역류(백스트리밍)로 인한 제품 오염, 금속 분말에 의한 오일 오염, 유기 바인더 응축 문제를 구조적으로 막을 수 있기 때문입니다. 특히 소결·MIM처럼 유기 성분이 배출되는 공정에서는 드라이 스크류 펌프(GXS)가 권장됩니다.
03
대형 챔버는 드라이 방식이 오일씰 방식보다 배기 시간이 짧은가요?
동일한 부스터 구성 기준으로 비교했을 때 그렇습니다. 6만 리터급 대형 챔버 시뮬레이션에서 드라이 스크류+루츠부스터 조합이 오일씰 로터리피스톤+루츠부스터 조합보다 도달 시간이 더 짧았습니다. 다만 고진공 부스터를 추가하면 두 방식 모두 유의미하게 단축됩니다.
04
루츠 부스터는 배기속도 비율(예: 2~8배) 공식으로 정하면 되나요?
일반 공식을 그대로 적용하면 현장에서 검증된 조합과 다른 모델을 추천하게 될 수 있습니다. 예를 들어 GXS250은 공식상 EH500이 맞아 보이지만 실제로는 EH2600과 조합하는 것이 스마텍 현장 확인 기준입니다. 031-204-7170으로 문의하시면 정확한 조합을 안내드립니다.
05
진공 브레이징·전자빔 용접에도 오일펌프를 써도 되나요?
오일씰 로터리피스톤+확산펌프 조합이 전통적인 방식이지만, 오일 역류가 챔버를 오염시켜 접합면 젖음성을 떨어뜨릴 위험이 있습니다. 드라이 러핑펌프는 오일이 진공 공간에 닿지 않아 청정도가 중요한 항공·정밀 부품 접합 공정에 더 적합합니다.