OLED / 디스플레이

OLED 증착·스퍼터링은 10⁻⁵~10⁻⁸ mbar 수준의 초고진공을 요구합니다. 오일로터리 펌프는 오일 역류(backstreaming)로 오일 분자가 기판에 흡착돼 유기 발광층을 오염시키고 픽셀 결함을 유발할 수 있어, 오일 트랩을 달아도 완전 차단이 어렵습니다. 드라이 스크류 펌프가 이 문제를 구조적으로 없앱니다.

대형 버퍼 챔버(수만 리터급)에서 같은 드라이펌프를 1세트→2세트→3세트로 늘렸을 때 도달시간이 세트 수에 단순 반비례하지 않고 그 이상으로 단축되는 구간이 있었습니다. 무조건 대수를 늘리기보다 이 비선형 구간을 감안해 증설 여부를 검토해야 합니다.

있습니다. 단독형 드라이펌프를 부스터 통합 콤비 모델로 교체한 것만으로 목표압력 도달시간이 약 37% 단축된 사례가 있습니다. 별도 부스터를 추가하는 것보다 콤비 모델을 선택하는 것이 배관 구성 면에서도 유리합니다.

통상 10⁻¹~10⁻² mbar 구간입니다. 이후 터보분자펌프가 이어받아 10⁻⁵ mbar 이하의 초고진공을 만듭니다.

네. 최대 글래스 사이즈에 맞춰 로드락·프로세스·트랜스퍼 챔버 체적이 결정되며, 트랜스퍼 챔버는 로드락 대비 수십 배 큰 경우가 많아 같은 펌프 모델이라도 챔버별로 대수 구성을 다르게 가져가야 합니다.

가능합니다. 현재 백킹펌프 모델과 챔버 체적, 목표 도달시간을 알려주시면 031-204-7170에서 드라이 전환 구성을 검토해 드립니다.