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— INDUSTRY · OLED-DISPLAY
OLED / 디스플레이
OLED 유기층 증착·봉지·스퍼터링 등 디스플레이 전 공정 진공 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
OLED와 첨단 디스플레이 제조는 초청정·고진공 환경에서 이루어집니다. Edwards는 OLED 유기증착(VTE), 인캡슐레이션, TFT 스퍼터링, 드라이에칭 공정 전반에 걸쳐 파우더·부식성 부산물에 강한 전용 진공 펌프를 공급합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
OLED 유기물 진공 증착(VTE·RPD)
02
박막 봉지(TFE) 및 글래스 봉지 공정
03
TFT 백플레인 스퍼터링·CVD
04
드라이 에칭 챔버 배기
05
로드락·트랜스퍼 챔버 사이클링
— 03 · RECOMMENDED MODELS
