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— INDUSTRY · OLED-DISPLAY
OLED / 디스플레이
OLED 유기층 증착·봉지·스퍼터링 등 디스플레이 전 공정 진공 솔루션.
— 01 · OVERVIEW
왜 이 산업에 진공이 필요한가
OLED와 첨단 디스플레이 제조는 초청정·고진공 환경에서 이루어집니다. Edwards는 OLED 유기증착(VTE), 인캡슐레이션, TFT 스퍼터링, 드라이에칭 공정 전반에 걸쳐 파우더·부식성 부산물에 강한 전용 진공 펌프를 공급합니다.
— 02 · VACUUM PROCESSES
실제 적용되는 세부 공정
01
OLED 유기물 진공 증착(VTE·RPD)
02
박막 봉지(TFE) 및 글래스 봉지 공정
03
TFT 백플레인 스퍼터링·CVD
04
드라이 에칭 챔버 배기
05
로드락·트랜스퍼 챔버 사이클링
— 03 · RECOMMENDED MODELS
이 산업에 맞는 Edwards 조합
— 04 · FIELD DATA
실제 시뮬레이션으로 확인된 것
Edwards 공식 시뮬레이션 데이터를 기반으로 한 실전 기술 인사이트입니다. 회사명·수치는 보안상 범위·일반화 처리했습니다.
01
로드락/버퍼 챔버는 펌프 세트 수를 늘릴수록 도달시간이 비례 이상으로 줄어듭니다
대형 버퍼 챔버(수만 리터급)에서 같은 드라이펌프를 1세트→2세트→3세트로 늘렸을 때, 도달시간이 세트 수에 단순 반비례하지 않고 그 이상으로 단축되는 구간이 있었습니다. 대수 증설 여부를 검토할 때 이 비선형 구간을 감안해야 합니다.
02
PR 코팅 후 용제 증발 공정은 콤비형 펌프 전환만으로 택트타임을 크게 줄일 수 있습니다
포토(Photo) 라인의 PR 용제 증발(VCD) 공정에서 단독형 드라이펌프를 부스터 통합 콤비 모델로 교체한 것만으로 목표압력 도달시간이 약 37% 단축된 사례가 있습니다. 별도 부스터를 추가하는 것보다 콤비 모델 자체를 선택하는 것이 배관 구성 면에서도 유리합니다.
03
글래스 기판 크기가 커지면 챔버 체적도 그만큼 커집니다
디스플레이 유리기판 처리 장비는 최대 글래스 사이즈(mm²)에 맞춰 로드락·프로세스·트랜스퍼 챔버 체적이 결정됩니다. 트랜스퍼 챔버는 로드락 대비 수십 배 큰 경우가 많아, 같은 펌프 모델이라도 챔버별로 대수 구성을 다르게 가져가야 합니다.